先进封装TCB精密运动系统

龙门结构: 采用弹簧片柔性连接;减弱大跨距龙门对刚度影响。 X-Y轴:采用有铁心直线电机+绝对值光栅尺反馈;实时监控轴的位置,掌握龙门轴的位置偏差,有效防双龙门撞机,双龙门采用双侧缓冲及安全光电,程序上防呆做二次保护。 X轴:采用氧化铝材质对比7075铝件热膨胀系数低,形变更小可加工更高平面度直线度;可做成薄壁结构,整体重量小,整体高刚性高强度结构防止轴断裂。 框架:大理石+A3烤漆下机架。 减振:采用减振垫。

服务热线

18825058516

双龙门结构
轴别 参数 Unit / Condition Target
X1, X2-axis
(Upper, stack)
有效行程 mm 500
Max. Speed 速度 mm/sec 1900
Max. Acceleration 加速度 G 2
重复定位精度 µm ±0.35
定位精度 µm/(1D calibrated) ±0.5
直线度 µm ±5
Flatness µm ±5
Yaw arcsec ±1.5
Pitch arcsec ±5
Roll arcsec ±3
Settling time ms move 100mm/sec, 15mm @window ±100nm, <100ms
Jitter nm ±30
单龙门结构
轴别 参数 Unit / Condition Target
Y1,Y3-axis
(Bottom, stack)
有效行程 mm 520
Max. Speed 速度 mm/sec 1900
Max. Acceleration 加速度 G 2
重复定位精度 µm ±0.35
定位精度 µm/(1D calibrated) ±0.5
直线度 µm ±5
Flatness µm ±5
Yaw arcsec ±5
Pitch arcsec ±1.5
roll arcsec ±3
Jitter nm ±30

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