1. 采用大理石气浮导轨龙门设计，导轨采用T型设计，气浮滑块刚性高，稳定性好，速度波动更小。
2. 产品工作台采用大理石吸盘，平面度高，抗压强度高，变形系数小。
3. 应用于显示面板，太阳能光伏的涂布，检测。
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轴 |
Y |
Z |
Power base |
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行程 |
2,400mm |
150mm |
100mm |
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最大速度 |
1,000mm/s |
50mm/s |
150mm/s |
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最大加速度 |
2m/s² |
1.3m/s² |
1m/s² |
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定位精度 （calibration value） |
±3μm |
±0.3μm |
±15μm |
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重复定位精度 (Bidirectional repeatability) |
±1μm |
±0.1μm |
±10μm
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直线度 |
±1.5μm |
±5μm |
±10μm |
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平面度 |
±1.5μm |
±5μm |
±30μm |
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俯仰/Pitch |
±8 arcsec |
NA |
NA |
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偏摆/Yaw |
±8 arcsec |
NA |
NA |