产品&解决方案

Products & Solutions

晶圆自动光学检测(AOI)运动系统

粤极科技提供多款晶圆AOI运动系统:YMAO450-SY及XYT400/500/700-FP/LP系列。产品覆盖450-700mm行程,具备±0.5μm重复定位精度,集成气浮/磁浮补偿等技术,适用于半导体晶圆检测。参数详细,欢迎咨询选型。

了解更多

面板检测运动系统

GANTRY 8.6G面板检测运动系统:采用大理石气浮导轨龙门设计,Y轴行程2,400mm,实现±1μm重复定位精度。产品工作台配备大理石吸盘,具备高平面度与稳定性,适用于显示面板及太阳能光伏的涂布、检测工序。欢迎咨询。

了解更多

面板涂布系统

粤极科技面板涂布系统,提供气浮平台(8G)及气浮微动台。微动台分精密搬送(PV)与一般搬送(PA)型,测试数据显示:PV型搬送1500*1300mm玻璃,平均浮起量224μm,抖动±1.5μm以内,实现平稳超精密运输。欢迎咨询。

了解更多
晶圆自动光学检测(AOI)运动系统
面板检测运动系统
面板涂布系统

应用

Application

半导体行业

半导体晶圆自动光学检测(AOI)运动系统是半导体制造过程中的核心检测装备,主要用于晶圆表面缺陷的高精度检测。

了解更多

面板制造

AOI检测运动系统用于面板制程缺陷检测,提升显示面板良率与生产效率。

了解更多

新能源

AOI检测运动系统用于新能源电池高精度缺陷检测与工艺优化。

了解更多
半导体行业
面板制造
新能源
ABOUT US

关于粤极

about us

广东粤极科技有限责任公司于2023年10月在广州成立,是上海隐冠半导体技术有限公司的全资子公司。公司将进一步整合超精密运动及控制的技术优势,重点布局在半导体晶圆自动光学检测(AOI)运动系统、面板检测运动系统、钙钛矿电池涂布系统、钙钛矿电池检测运动系统、面板涂布系统五个核心细分赛道的研发攻关,全面开拓华南、华中乃至全国的市场。
了解更多

新闻中心

NEWS

了解更多

Copyright © 广东粤极科技有限责任公司 版权所有 备案号:粤ICP备2025421332号-1