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粤极科技提供多款晶圆AOI运动系统：YMAO450-SY及XYT400/500/700-FP/LP系列。产品覆盖450-700mm行程，具备±0.5μm重复定位精度，集成气浮/磁浮补偿等技术，适用于半导体晶圆检测。参数详细，欢迎咨询选型。

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YMAO450-SY

XYT400-FP

XYT500-FP

XYT700-LP

面板检测运动系统

GANTRY 8.6G面板检测运动系统：采用大理石气浮导轨龙门设计，Y轴行程2,400mm，实现±1μm重复定位精度。产品工作台配备大理石吸盘，具备高平面度与稳定性，适用于显示面板及太阳能光伏的涂布、检测工序。欢迎咨询。

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面板涂布系统

粤极科技面板涂布系统，提供气浮平台（8G）及气浮微动台。微动台分精密搬送（PV）与一般搬送（PA）型，测试数据显示：PV型搬送1500*1300mm玻璃，平均浮起量224μm，抖动±1.5μm以内，实现平稳超精密运输。欢迎咨询。

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