产品&解决方案 - 广东粤极科技有限责任公司

晶圆自动光学检测（AOI）运动系统

粤极科技提供多款晶圆AOI运动系统：YMAO450-SY及XYT400/500/700-FP/LP系列。产品覆盖450-700mm行程，具备±0.5μm重复定位精度，集成气浮/磁浮补偿等技术，适用于半导体晶圆检测。参数详细，欢迎咨询选型。

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YMAO450-SY

XYT400-FP

XYT500-FP

XYT700-LP

面板检测运动系统

GANTRY 8.6G面板检测运动系统：采用大理石气浮导轨龙门设计，Y轴行程2,400mm，实现±1μm重复定位精度。产品工作台配备大理石吸盘，具备高平面度与稳定性，适用于显示面板及太阳能光伏的涂布、检测工序。欢迎咨询。

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先进封装TCB精密运动系统

龙门结构: 采用弹簧片柔性连接；减弱大跨距龙门对刚度影响。 X-Y轴：采用有铁心直线电机+绝对值光栅尺反馈；实时监控轴的位置，掌握龙门轴的位置偏差,有效防双龙门撞机，双龙门采用双侧缓冲及安全光电，程序上防呆做二次保护。 X轴：采用氧化铝材质对比7075铝件热膨胀系数低，形变更小可加工更高平面度直线度；可做成薄壁结构，整体重量小，整体高刚性高强度结构防止轴断裂。框架：大理石+A3烤漆下机架。减振：采用减振垫。

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双龙门结构

单龙门结构

面板涂布系统

粤极科技面板涂布系统，提供气浮平台（8G）及气浮微动台。微动台分精密搬送（PV）与一般搬送（PA）型，测试数据显示：PV型搬送1500*1300mm玻璃，平均浮起量224μm，抖动±1.5μm以内，实现平稳超精密运输。欢迎咨询。

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